半導體電性量測機台

奈米科技實驗室 Physical Property Measurement Laboratory (科學館S309)

用途：
可精準量測半導體與奈米材料的微小電訊號輸出，此量測系統可精準量測到0.1 fA的電訊號。搭配真空系統，可以更多元的控制量測時元件的環境，模擬不同之半導體元件使用環境

負責教授 : 葉炳宏老師